ផ្ទះ - ផលិតផល - ពាក់កណ្តាលចំហាយចំហាយ - ក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូនរ៉ែថ្មខៀវ - ព័ត៌មានលម្អិត

ទូកសម្អាត Quartz Wafer

ទូកសម្អាតរ៉ែថ្មខៀវគឺជាឧបករណ៍ដែលប្រើសម្រាប់សម្អាត wafer នៅក្នុងដំណើរការផលិត semiconductor ។
សម្ភារៈ: 99.99% រ៉ែថ្មខៀវ

ផ្ញើរសំណួរ

ការពិពណ៌នា...

លក្ខណៈពិសេស

ធន់ទ្រាំនឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។
ភាពធន់នឹងសំណឹក
ធន់នឹងការពាក់
ងាយស្រួលក្នុងការសម្អាត

ការប្រើប្រាស់៖ កម្ចាត់មេរោគលើផ្ទៃ

ធានានូវគុណភាពផលិតនៃបន្ទះសៀគ្វី semiconductor ។

ការដាក់ពាក្យ

1. មុន-ការសម្អាតការសាយភាយ

ប្រើដើម្បីដឹកជញ្ជូន wafers តាមរយៈកៅអីសើម ឬជំហានសម្អាតការជ្រមុជ (ឧ. ការសម្អាត RCA) ដើម្បីលុបសារធាតុពុលសរីរាង្គ លោហធាតុ និងភាគល្អិត មុនពេលដំណើរការសាយភាយ ឬអុកស៊ីតកម្មសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។

2. ការសម្អាតក្រោយ -CMP (ការធ្វើផែនការមេកានិកគីមី)

កាន់ wafers កំឡុងពេលក្រោយ-ការលាងសម្អាតដើម្បីលុបបំបាត់សំណល់ជាតិរំអិល និងពិការភាពលើផ្ទៃ ដោយធានាបាននូវភាពរាបស្មើល្អបំផុតសម្រាប់ជំហានបន្ទាប់នៃ lithography ។

3. ផ្នែកខាងមុខ-ចុងបញ្ចប់-នៃ-បន្ទាត់ (FEOL) Fabrication

ត្រូវបានប្រើប្រាស់ក្នុងដំណាក់កាលសម្អាត FEOL ដ៏សំខាន់ ដែលផ្ទៃស្អាតខ្លាំងបំផុតគឺត្រូវបានទាមទារសម្រាប់ការលូតលាស់អុកស៊ីតនៃច្រកទ្វារ ការបន្ទោរបង់ epitaxial ឬការផ្សាំអ៊ីយ៉ុង។

4. ថយក្រោយ-បញ្ចប់-នៃ-ដំណើរការបន្ទាត់ (BEOL)

គាំទ្រ wafers កំឡុងពេលក្រោយ-ឆ្លាក់ ឬក្រោយ-ការសម្អាតកន្លែងដាក់ដើម្បីលុប photoresist, etching អនុផល និងលោហធាតុមិនបរិសុទ្ធបន្ទាប់ពីការបង្កើតទំនាក់ទំនងគ្នា។

5. ការវេចខ្ចប់កម្រិតខ្ពស់

ជួយសម្រួលដល់ការសម្អាតកម្រិត wafer មុននឹងដាក់គ្រាប់ ឬចំណងនៅក្នុងការវេចខ្ចប់ IC 2.5D/3D ធានាការចម្លងរោគ-ចំណុចប្រទាក់ឥតគិតថ្លៃសម្រាប់ការភ្ជាប់ទំនាក់ទំនងដែលអាចទុកចិត្តបាន។

6. ការផលិតថាមពលអគ្គីសនី

ប្រើក្នុងការផលិតកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យដើម្បីសម្អាតស្រទាប់ខាងក្រោមស៊ីលីកុន បង្កើនគុណភាពផ្ទៃសម្រាប់ការស្រូបយកពន្លឺកាន់តែប្រសើរឡើង និងប្រសិទ្ធភាពបំប្លែងថាមពល។

ទ្រព្យសម្បត្តិ

លក្ខណៈសម្បត្តិរូបវន្ត	តម្លៃ
ភាពបរិសុទ្ធ	＞99.99%
ដង់ស៊ីតេ	2.2 ក្រាម / សង់ទីម៉ែត្រ³
តម្លាភាព	＞90%
ភាពរឹងរបស់ Mohs	5.5--6.5
ចំណុចខូចទ្រង់ទ្រាយ	១២៨០ ដឺក្រេ។
ចំណុចបន្ទន់	១៧៥០ ដឺក្រេ។
ចំណុច Annealing	១២៥០ ដឺក្រេ។
កំដៅជាក់លាក់ (20 - 350 ដឺក្រេ)	670J / គីឡូក្រាម សញ្ញាបត្រ
ចរន្តកំដៅ (20 ដឺក្រេ)	1.4W/m ។ សញ្ញាបត្រ
ចរន្តកំដៅ (w/mk, 1000 ដឺក្រេ)	1.0-1.2
សន្ទស្សន៍ចំណាំងបែរ	1.4585
មេគុណនៃការពង្រីកកំដៅ	5.510 ^-7សង់ទីម៉ែត្រ / សង់ទីម៉ែត្រ។ សញ្ញាបត្រ
ក្តៅ - សីតុណ្ហភាពការងារ	១៧៥០-២០៥០ ដឺក្រេ។
រយៈពេលខ្លី - សីតុណ្ហភាពសេវាកម្ម	១៤៥០ ដឺក្រេ។
រយៈពេលវែង - សីតុណ្ហភាពសេវាកម្ម	1100 ដឺក្រេ។

លក្ខណៈសម្បត្តិគីមី	តម្លៃ
ធន់នឹងអាស៊ីត	អាស៊ីតខ្លាំង (លើកលែងតែ HF) អាល់កាឡាំងខ្លាំង ដំណោះស្រាយសរីរាង្គ
សីតុណ្ហភាពខ្ពស់ធន់នឹងការ corrosion	ល្អឥតខ្ចោះ
មាតិកាមិនបរិសុទ្ធនៃលោហៈ	5 ppm

លក្ខណៈសម្បត្តិអគ្គិសនី	តម្លៃ
ភាពធន់	710⁷Ω.cm
ភាពរឹងមាំនៃអ៊ីសូឡង់	250 ~ 400 Kv / សង់ទីម៉ែត្រ
ថេរ Dielectric	3.7~3.9
មេគុណស្រូបយក Dielectric	＜410^-4
មេគុណការបាត់បង់ Dielectric	＜110^-4

លក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិច	តម្លៃ
កម្លាំងបង្ហាប់	1100 MPa
កម្លាំងពត់កោង	67 MPa
កម្លាំង tensile	48MPa
សមាមាត្រ Poisson	0.14~0.17
ម៉ូឌុលរបស់ Young	72000MPa
ម៉ូឌុលកាត់	31000MPa

វិធីសាស្រ្តសំអាត

ការសម្អាតការជ្រលក់៖

ដាក់ wafer នៅក្នុងទូកលាងសម្អាត បន្ទាប់មកជ្រមុជទូកសម្អាតទៅក្នុងអង្គធាតុរាវសម្អាត ហើយបង្កើនទំនាក់ទំនងរវាងសារធាតុរាវសម្អាត និងផ្ទៃ wafer ដោយលើកទូក wafer ដើម្បីបង្កើនប្រសិទ្ធភាពសម្អាត។

បាញ់សម្អាត៖

ឈរទូកសម្អាតឱ្យត្រង់ក្នុងបន្ទប់បាញ់ទឹក ហើយប្រើក្បាលបាញ់ទឹកសម្អាតលើផ្ទៃម្សៅ ដើម្បីយកសារធាតុកខ្វក់។ ប

សារៈសំខាន់នៃការសម្អាតទូក៖

ធានាភាពស្អាតរបស់ wafer: ផ្ទៃ wafer ស្អាតមានសារៈសំខាន់ចំពោះគុណភាពនៃការផលិតបន្ទះសៀគ្វី semiconductor ហើយទូកសំអាតដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់ក្នុងដំណើរការសម្អាត។
ធានានូវភាពជឿជាក់នៃបន្ទះសៀគ្វី semiconductor៖ ធានានូវភាពជឿជាក់នៃបន្ទះសៀគ្វី និងកាត់បន្ថយការខូចគុណភាពផលិតផលដោយកម្ចាត់ភាពកខ្វក់លើផ្ទៃ។
ធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវទិន្នផលនៃបន្ទះសៀគ្វី semiconductor: ធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវភាពស្អាតនៃ wafers ដោយហេតុនេះធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវទិន្នផលនៃបន្ទះសៀគ្វី semiconductor ។

ស្លាកក្តៅ: ទូកសម្អាតរ៉ែថ្មខៀវ ក្រុមហ៊ុនផលិត រោងចក្រផ្គត់ផ្គង់ រោងចក្រ

មុន:ចិញ្ចៀនអ៊ីសូឡង់កំដៅរ៉ែថ្មខៀវ

បន្ទាប់ 2:ស្រទាប់ខាងក្រោម Quartz Wafer

ផ្ញើរសំណួរ

អ្នកអាចនឹងចូលចិត្តផងដែរ